*发展的技术创新和不断发展的市场趋势推动了半导体及相关产业的发展。为了保持竞争力,制造商必须不断适应不断增长的材料,器件结构,制造工艺和集成电路设计。另外,半导体制造涉及广泛的环境,健康和安全隐患。随着行业变得越来越复杂,确保安全,质量和可持续性的**要求也越来越高。
SEMI认证是半导体行业的常见认证,特别是SEMI S2 / S8等半导体设备的安全准则,是SEMI认证的基本要求,沃证已从事10多年SEMI认证,提供一站式SEMI技术服务,欢迎咨询。
为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
SEMI S2是针对制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准,符合SEMI S2不仅符合了国际相关规定,也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。SEMI S2认证涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件,涉及电气、机械、防火、化学、、噪音和防震等各方面的安全领域。SEMI认证流程大体为递交技术资料和认证申请、确认标准及报价、准备资料,样品及测试费用、收到样品后准备测试计划、测试,如不通过则进行产品修改、、审核并出具。
相关标准
SEMI E6 —半导体设备安装文档指南
SEMI F5 —气态废水处理指南
SEMI F14 —气源设备外壳设计指南
SEMI F15 —外壳的测试方法(6示踪气体)已移至SEMI S6
SEMI S1 —设备安全标签安全指南
SEMI S3 —工艺液体加热系统的安全准则
SEMI S6 —半导体制造设备排气通风的EHS指南
SEMI S7 —半导体制造设备的环境,安全和健康(ESH)评估安全指南
SEMI S8 —半导体制造设备的人机工程学安全准则
SEMI S10 —风险评估和风险评估过程的安全准则
SEMI S12-设备消毒准则
SEMI S13 —环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供与半导体制造设备一起使用的文件
SEMI S14 —半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S22 —半导体制造设备的电气设计安全准则
ANSI / IEEE C95.1 —关于人体暴露于3 kHz至300 GHz射频电磁场中的安全等级标准
ANSI / RIA R15.06 —工业机器人和机器人系统–安全要求
ANSI / ISA S84.01 —安全仪表系统在过程工业中的应用
IEC 60825-1 —激光产品的安全性–*1部分:设备分类,要求
IEC 61010-1 —测量,控制和实验室用电气设备的安全要求–*1部分:一般要求
IEC 61508 —电气/电子/可编程电子安全相关系统的功能安全
ISO 10218-1 —工业环境机器人–安全要求–*1部分:机器人
ISO 13849-1 —机械安全–控制系统的安全相关部件–*1部分:设计的一般原则
S EMI S2和SEMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南。该标准的先前版本包括SEMI S2-0200,SEMI S2-0302,SEMI S2-1102和SEMI S2-0303,SEMI S2-0703 SEMI S2-93,SEMI S2-93A。
设备类型;SEMI S2适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2适用于离子植入机,光刻设备,湿式工作台。SEMI S2适用于蚀刻机,掩模对准器,CVD,锯,旋涂机和Fab中的任何其他设备。蚀刻机,植入机,清洁轨道,化学分配系统,散装气体分配,煤气柜,气源柜,计量系统,测试系统,CMP系统,炉,子系统,工业激光器
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