沃证(VIACERT)SEMI团队可以帮助企业地解决半导体设备的安全问题,助力半导体企业满足的SEMI评估要求并取得SEMI认可报告,顺利打开半导体市场。
沃证十多年来一直为所有适用的SEMI认证指南提供全面的咨询,评估和测试服务。我们的在使用SEMI准则方面知识渊博,经验丰富,通常执行SEMI评估的时间**过10年。我们的评估方法旨在以合理的成本提供全面的S2评估,并且对机器开发和构造过程的影响小。我们的报告内容详尽,以清晰,简明的方式清楚地解释您的机器设计以及对SEMI指南的符合性。
安全验证测试:机器和设备安全设计的验证测试
1.电气安全验证测试–根据IEC,UL和SEMI S22标准对您的产品进行现场EMC测试。
2.空气中浓度测量/非易燃气体评估测试/气体测试–通过测量操作期间或设备单点故障时设备泄漏的化学的化学暴露量,进行化学暴露安全性的验证测试。
3.各种安全验证测试–通过测量操作期间设备泄漏的电磁,UV,IR,激光和电离发射暴露量,进行物理暴露安全性验证测试。
4.符合SEMI F47的电压暂降抗扰度测试
什么是SEMI?
半导体设备和材料国际组织(SEMI)是一个**性行业协会,其成员来自半导体及相关行业的所有领域。SEMI国际标准部内的环境健康与安全(EHS)会制定了行业标准和准则,这些准则和准则已被**公认,以确保水平的安全和质量。
SEMI标准已经由SEMI国际标准计划及其行业成员开发,审查和更新,他们致力于降造成本,发展新兴产业并保证存在开放市场。SEMI S2是SEMI安全文件群的基础指南,它定义了半导体产品所需的安全要求。符合SEMI S2有助于提高产品的适销性和效率,并提高业务利润。此外,大多数半导体和平板制造和检查工具的购买者将需要符合SEMI S2要求
除了SEMI S2准则外,还有其他SEMI安全准则,例如用于火灾风险的SEMI S14,用于加热浴的SEMI S3和用于半导体人体工程学的SEMI S8,仅举几例。
在许多情况下,客户可能在合同上要求遵守SEMI S2准则。此外,一些地方当局还使用SEMI S2指南的某些部分,以确保设备符合电气和消防安全要求。
相关标准
SEMI E6 —半导体设备安装文档指南
SEMI F5 —气态废水处理指南
SEMI F14 —气源设备外壳设计指南
SEMI F15 —外壳的测试方法(6示踪气体)已移至SEMI S6
SEMI S1 —设备安全标签安全指南
SEMI S3 —工艺液体加热系统的安全准则
SEMI S6 —半导体制造设备排气通风的EHS指南
SEMI S7 —半导体制造设备的环境,安全和健康(ESH)评估安全指南
SEMI S8 —半导体制造设备的人机工程学安全准则
SEMI S10 —风险评估和风险评估过程的安全准则
SEMI S12-设备消毒准则
SEMI S13 —环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供与半导体制造设备一起使用的文件
SEMI S14 —半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S22 —半导体制造设备的电气设计安全准则
ANSI / IEEE C95.1 —关于人体暴露于3 kHz至300 GHz射频电磁场中的安全等级标准
ANSI / RIA R15.06 —工业机器人和机器人系统–安全要求
ANSI / ISA S84.01 —安全仪表系统在过程工业中的应用
IEC 60825-1 —激光产品的安全性–*1部分:设备分类,要求
IEC 61010-1 —测量,控制和实验室用电气设备的安全要求–*1部分:一般要求
IEC 61508 —电气/电子/可编程电子安全相关系统的功能安全
ISO 10218-1 —工业环境机器人–安全要求–*1部分:机器人
ISO 13849-1 —机械安全–控制系统的安全相关部件–*1部分:设计的一般原则
为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
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