如果您在半导体行业工作,通常会听到提到“ SEMI安全准则”作为行业的基本要求。
SEMI安全指南是由同名行业协会发布的:SEMI(半导体设备和材料国际组织),这是微电子和纳米电子工业制造商的**网络。这些安全指南的制定旨在以合理的价格和稳定的供应来提高产品质量和可靠性。
有许多SEMI标准涵盖不同领域,例如:化学危害,设备跟踪,人机界面,传感器执行器网络;但在其中,SEMI S2是用于环境,健康和安全(EHS)的半导体制造设备中的标准。
沃证一站式SEMI认证服务,SEMI认证为您解读SEMI S2/S8/S13/S14等各类SEMI标准的要求,为您的设备进入半导体行业保驾**。
为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
SEMI –半导体材料和设备国际准则和标准
安全指引
SEMI S1-070a E设备安全标签安全指南
S EMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南
SEMI 53-1211工艺液体加热系统安全准则
SEMI S4-0304分配柜中化学瓶分离的安全指南
SEMI S5-0310用于确定和识别气瓶阀限流装置的安全指南
SEMI S6-0707 E EHS半导体制造设备排气通风指南
SEMI S7-0310人员评估和公司评估安全指南
SEMI S8-0712半导体制造设备人体工程学安全指南
SEMI S10-0307 E 风险评估和风险评估流程安全指南
SEMI S12-0211制造设备消毒的环境,健康和安全指南
SEMI S13-0305环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供半导体制造使用的文件
SEMI S14-0309半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S16-0307(重新批准0812)半导体制造设备设计指南,以减少使用寿命终止时对环境的影响
SEMI S17-0311无人运输工具(UTV)系统安全指南
SEMI S18-0312易燃硅化合物的环境,健康和安全指南
SEMI S19-0311半导体制造设备安装,维护和服务人员培训的安全指南
SEMI S21-1106 E(0612重新批准)工人保护安全指南
SEMI S22-0712半导体制造设备的电气设计安全准则
SEMI S23-0311半导体制造设备使用的能源,公用事业和材料节约指南
SEMI S24-0306(重新批准0811)多雇主工作区安全指南
SEMI S25-0706过氧化氢储存和处理系统安全准则
SEMI S26-0811 FPD制造系统的环境,健康和安全指南
SEMI S27-0310环境,安全和健康(ESH)评估报告内容的安全指南
SEMI S28-1011适用于半导体制造设备中的机器人和装载口的安全指南
SEMI S29-0712氟化温室气体(F-GHG)排放特征和减少指南
SEMI S2是针对制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准,符合SEMI S2不仅符合了国际相关规定,也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。SEMI S2认证涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件,涉及电气、机械、防火、化学、、噪音和防震等各方面的安全领域。SEMI认证流程大体为递交技术资料和认证申请、确认标准及报价、准备资料,样品及测试费用、收到样品后准备测试计划、测试,如不通过则进行产品修改、、审核并出具。
SEMI标准中有材料(M系列)、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列)等, 环境、 健康、 安全(EHS)由S系列规定。SEMI认证为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则。SEMI认证适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
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