有几个单的行业特定准则,涉及半导体制造设备(SME)的环境,健康和安全(EHS)和SME的其他支持设备。SME应符合终用户要求的一些适用准则。SME还必须遵守使用地点适用的法规和规范。
上海沃证不仅按照SEMI S2指南进行EHS不合格验证,而且还以集成的安全设计为目标,以进行**产品合格性评估。
SEMI标准中有材料(M系列)、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列)等, 环境、 健康、 安全(EHS)由S系列规定。SEMI认证为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则。SEMI认证适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
什么是SEMI?
半导体设备和材料国际组织(SEMI)是一个**性行业协会,其成员来自半导体及相关行业的所有领域。SEMI国际标准部内的环境健康与安全(EHS)会制定了行业标准和准则,这些准则和准则已被**公认,以确保水平的安全和质量。
SEMI标准已经由SEMI国际标准计划及其行业成员开发,审查和更新,他们致力于降造成本,发展新兴产业并保证存在开放市场。SEMI S2是SEMI安全文件群的基础指南,它定义了半导体产品所需的安全要求。符合SEMI S2有助于提高产品的适销性和效率,并提高业务利润。此外,大多数半导体和平板制造和检查工具的购买者将需要符合SEMI S2要求
除了SEMI S2准则外,还有其他SEMI安全准则,例如用于火灾风险的SEMI S14,用于加热浴的SEMI S3和用于半导体人体工程学的SEMI S8,仅举几例。
在许多情况下,客户可能在合同上要求遵守SEMI S2准则。此外,一些地方当局还使用SEMI S2指南的某些部分,以确保设备符合电气和消防安全要求。
SEMI –半导体材料和设备国际准则和标准
安全指引
SEMI S1-070a E设备安全标签安全指南
S EMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南
SEMI 53-1211工艺液体加热系统安全准则
SEMI S4-0304分配柜中化学瓶分离的安全指南
SEMI S5-0310用于确定和识别气瓶阀限流装置的安全指南
SEMI S6-0707 E EHS半导体制造设备排气通风指南
SEMI S7-0310人员评估和公司评估安全指南
SEMI S8-0712半导体制造设备人体工程学安全指南
SEMI S10-0307 E 风险评估和风险评估流程安全指南
SEMI S12-0211制造设备消毒的环境,健康和安全指南
SEMI S13-0305环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供半导体制造使用的文件
SEMI S14-0309半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S16-0307(重新批准0812)半导体制造设备设计指南,以减少使用寿命终止时对环境的影响
SEMI S17-0311无人运输工具(UTV)系统安全指南
SEMI S18-0312易燃硅化合物的环境,健康和安全指南
SEMI S19-0311半导体制造设备安装,维护和服务人员培训的安全指南
SEMI S21-1106 E(0612重新批准)工人保护安全指南
SEMI S22-0712半导体制造设备的电气设计安全准则
SEMI S23-0311半导体制造设备使用的能源,公用事业和材料节约指南
SEMI S24-0306(重新批准0811)多雇主工作区安全指南
SEMI S25-0706过氧化氢储存和处理系统安全准则
SEMI S26-0811 FPD制造系统的环境,健康和安全指南
SEMI S27-0310环境,安全和健康(ESH)评估报告内容的安全指南
SEMI S28-1011适用于半导体制造设备中的机器人和装载口的安全指南
SEMI S29-0712氟化温室气体(F-GHG)排放特征和减少指南
上海沃证的SEMI S2主管团队
为了满足复杂设备的挑战并帮助设备制造商满足SEMI S2指南中规定的要求,开发了下文所述的全部知识。
安全联锁和紧急关机
设备环境绩效
电气安全
排气通风
防火保护
化学安全与工业卫生
加热化学浴
非电离和电离
人机工程学和人为因素
雷射
危险能量隔离
声压级
机械危险与自动化
危险警告标签
抗震保护
安全文件
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