为了确保整个行业以及**范围内的安全标准,半导体设备行业制定了SEMI S2 / S8指南。它们涵盖了广泛的安全和健康规定,例如法规要求,电气和化学危害,紧急停机和排气规范。上海沃证是的SEMI认证技术服务机构,提供一站式SEMI认证服务,欢迎咨询。
SEMI是否有无尘室标准?
除了SEMI F21-清洁环境中空气中分子污染物水平的分类外,SEMI没有洁净室的任何规范。
SEMI标准中引用的两个常见的无尘室规范是:
ISO 14644-洁净室和相关的受控环境*1部分:空气清洁度分类
联邦标准209E-洁净室和工作站的要求,受控环境
某些标准中仍然引用了联邦标准209E-洁净室和工作站的要求,受控环境。但是,请注意,美国总务管理局(US General Services Administration)于2001年11月发布了该文档的取消通知。该通知中包含ISO 14644*1部分(空气清洁度分类)和*2部分(测试和监视规范,以其持续符合)。尤其提到了ISO 14644-1)作为FED-STD-209E的替代。
是否有描述CE符合性的SEMI CE标记标准?
SEMI标准不涵盖CE标记。CE标志是欧洲联盟指令规定的。
欧盟指令
1995年1月1日,一套欧盟指令生效,要求进入欧盟成员国的各种产品必须带有“ CE”标志。术语“欧盟”是指欧共体,欧共体或共同市场。向欧洲联盟的变更是《马斯特里赫特条约》的结果。
欧盟指令的目的是消除非关税贸易壁垒,并确保流经欧盟的产品符合一般安全和环境规范。欧盟指令设定了规范。成员国有执行指令的法律义务。
SEMI一直遵循影响SEMI成员和业务分支机构的欧洲指令。我们一直遵循的要求CE标志的主要欧洲指令是:
三个主要指令:
机械指令
电磁兼容指令
低压指令
SEMI是否有符合人体工程学的标准?
SEMI S8-半导体制造设备的人机工程学安全准则
这些准则为半导体制造设备提供了人机工程学设计原则和注意事项。这些准则的目的是在制造环境中促进用户与设备之间的兼容性。
S EMI S2和SEMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南。该标准的先前版本包括SEMI S2-0200,SEMI S2-0302,SEMI S2-1102和SEMI S2-0303,SEMI S2-0703 SEMI S2-93,SEMI S2-93A。
设备类型;SEMI S2适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2适用于离子植入机,光刻设备,湿式工作台。SEMI S2适用于蚀刻机,掩模对准器,CVD,锯,旋涂机和Fab中的任何其他设备。蚀刻机,植入机,清洁轨道,化学分配系统,散装气体分配,煤气柜,气源柜,计量系统,测试系统,CMP系统,炉,子系统,工业激光器
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