沃证(VIACERT)SEMI团队可以帮助企业地解决半导体设备的安全问题,助力半导体企业满足的SEMI评估要求并取得SEMI认可报告,顺利打开半导体市场。
沃证十多年来一直为所有适用的SEMI认证指南提供全面的咨询,评估和测试服务。我们的在使用SEMI准则方面知识渊博,经验丰富,通常执行SEMI评估的时间**过10年。我们的评估方法旨在以合理的成本提供全面的S2评估,并且对机器开发和构造过程的影响小。我们的报告内容详尽,以清晰,简明的方式清楚地解释您的机器设计以及对SEMI指南的符合性。
SEMI(半导体设备与材料的国际性组织)是半导体工业的**执行联盟,SEMI之下的安全工作小组为了降低机械危害的风险,制定了一套适用于半导体及显示器材料和制造设备的**性标准和法规,成为半导体业界对设备系统的*的规格要求。 SEMI认证是国际半导体产业协会,主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
S EMI S2和SEMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南。该标准的先前版本包括SEMI S2-0200,SEMI S2-0302,SEMI S2-1102和SEMI S2-0303,SEMI S2-0703 SEMI S2-93,SEMI S2-93A。
设备类型;SEMI S2适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2适用于离子植入机,光刻设备,湿式工作台。SEMI S2适用于蚀刻机,掩模对准器,CVD,锯,旋涂机和Fab中的任何其他设备。蚀刻机,植入机,清洁轨道,化学分配系统,散装气体分配,煤气柜,气源柜,计量系统,测试系统,CMP系统,炉,子系统,工业激光器
相关标准
SEMI E6 —半导体设备安装文档指南
SEMI F5 —气态废水处理指南
SEMI F14 —气源设备外壳设计指南
SEMI F15 —外壳的测试方法(6示踪气体)已移至SEMI S6
SEMI S1 —设备安全标签安全指南
SEMI S3 —工艺液体加热系统的安全准则
SEMI S6 —半导体制造设备排气通风的EHS指南
SEMI S7 —半导体制造设备的环境,安全和健康(ESH)评估安全指南
SEMI S8 —半导体制造设备的人机工程学安全准则
SEMI S10 —风险评估和风险评估过程的安全准则
SEMI S12-设备消毒准则
SEMI S13 —环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供与半导体制造设备一起使用的文件
SEMI S14 —半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S22 —半导体制造设备的电气设计安全准则
ANSI / IEEE C95.1 —关于人体暴露于3 kHz至300 GHz射频电磁场中的安全等级标准
ANSI / RIA R15.06 —工业机器人和机器人系统–安全要求
ANSI / ISA S84.01 —安全仪表系统在过程工业中的应用
IEC 60825-1 —激光产品的安全性–*1部分:设备分类,要求
IEC 61010-1 —测量,控制和实验室用电气设备的安全要求–*1部分:一般要求
IEC 61508 —电气/电子/可编程电子安全相关系统的功能安全
ISO 10218-1 —工业环境机器人–安全要求–*1部分:机器人
ISO 13849-1 —机械安全–控制系统的安全相关部件–*1部分:设计的一般原则
有条形码的SEMI标准吗?
以下SEMI标准与条形码有关:
SEMI G71-包装材料中间容器的条形码标记规范
本规范描述了用于半导体包装的中间材料容器上印刷的机器可读标签的通用格式,内容,大小和位置。该规范提供了从现有的可追溯性和标记程序到未来所设想的全面统一系统的平稳过渡。
SEMI G83-产品包装的条形码标记规范
该规范描述了添加条形码所需的区域,条形码规范以及用于半导体包装的直接和间接材料产品包装(单位包装)的代码符号格式。以下是本规范的目标:使用计算机进行质量控制;防止人为错误造成的错误;生产现场的物料控制。以下不是本规范的目标:采购控制。
其他相关标准:
SEMI M12-晶片正面的连续字母数字标记 规范SEMI M13-硅晶片的字母数字标记规范 SEMI T8-带有二维矩阵符号的玻璃平板显示基板 的标记规范SEMI T9-标记规范二维数据矩阵符号 SEMI T11的金属引线框架条的制作-硬质表面掩模版基板的标记规范
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