*发展的技术创新和不断发展的市场趋势推动了半导体及相关产业的发展。为了保持竞争力,制造商必须不断适应不断增长的材料,器件结构,制造工艺和集成电路设计。另外,半导体制造涉及广泛的环境,健康和安全隐患。随着行业变得越来越复杂,确保安全,质量和可持续性的**要求也越来越高。
SEMI认证是半导体行业的常见认证,特别是SEMI S2 / S8等半导体设备的安全准则,是SEMI认证的基本要求,沃证已从事10多年SEMI认证,提供一站式SEMI技术服务,欢迎咨询。
SEMI –半导体材料和设备国际准则和标准
安全指引
SEMI S1-070a E设备安全标签安全指南
S EMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南
SEMI 53-1211工艺液体加热系统安全准则
SEMI S4-0304分配柜中化学瓶分离的安全指南
SEMI S5-0310用于确定和识别气瓶阀限流装置的安全指南
SEMI S6-0707 E EHS半导体制造设备排气通风指南
SEMI S7-0310人员评估和公司评估安全指南
SEMI S8-0712半导体制造设备人体工程学安全指南
SEMI S10-0307 E 风险评估和风险评估流程安全指南
SEMI S12-0211制造设备消毒的环境,健康和安全指南
SEMI S13-0305环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供半导体制造使用的文件
SEMI S14-0309半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S16-0307(重新批准0812)半导体制造设备设计指南,以减少使用寿命终止时对环境的影响
SEMI S17-0311无人运输工具(UTV)系统安全指南
SEMI S18-0312易燃硅化合物的环境,健康和安全指南
SEMI S19-0311半导体制造设备安装,维护和服务人员培训的安全指南
SEMI S21-1106 E(0612重新批准)工人保护安全指南
SEMI S22-0712半导体制造设备的电气设计安全准则
SEMI S23-0311半导体制造设备使用的能源,公用事业和材料节约指南
SEMI S24-0306(重新批准0811)多雇主工作区安全指南
SEMI S25-0706过氧化氢储存和处理系统安全准则
SEMI S26-0811 FPD制造系统的环境,健康和安全指南
SEMI S27-0310环境,安全和健康(ESH)评估报告内容的安全指南
SEMI S28-1011适用于半导体制造设备中的机器人和装载口的安全指南
SEMI S29-0712氟化温室气体(F-GHG)排放特征和减少指南
安全验证测试:机器和设备安全设计的验证测试
1.电气安全验证测试–根据IEC,UL和SEMI S22标准对您的产品进行现场EMC测试。
2.空气中浓度测量/非易燃气体评估测试/气体测试–通过测量操作期间或设备单点故障时设备泄漏的化学的化学暴露量,进行化学暴露安全性的验证测试。
3.各种安全验证测试–通过测量操作期间设备泄漏的电磁,UV,IR,激光和电离发射暴露量,进行物理暴露安全性验证测试。
4.符合SEMI F47的电压暂降抗扰度测试
S EMI S2和SEMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南。该标准的先前版本包括SEMI S2-0200,SEMI S2-0302,SEMI S2-1102和SEMI S2-0303,SEMI S2-0703 SEMI S2-93,SEMI S2-93A。
设备类型;SEMI S2适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2适用于离子植入机,光刻设备,湿式工作台。SEMI S2适用于蚀刻机,掩模对准器,CVD,锯,旋涂机和Fab中的任何其他设备。蚀刻机,植入机,清洁轨道,化学分配系统,散装气体分配,煤气柜,气源柜,计量系统,测试系统,CMP系统,炉,子系统,工业激光器
有条形码的SEMI标准吗?
以下SEMI标准与条形码有关:
SEMI G71-包装材料中间容器的条形码标记规范
本规范描述了用于半导体包装的中间材料容器上印刷的机器可读标签的通用格式,内容,大小和位置。该规范提供了从现有的可追溯性和标记程序到未来所设想的全面统一系统的平稳过渡。
SEMI G83-产品包装的条形码标记规范
该规范描述了添加条形码所需的区域,条形码规范以及用于半导体包装的直接和间接材料产品包装(单位包装)的代码符号格式。以下是本规范的目标:使用计算机进行质量控制;防止人为错误造成的错误;生产现场的物料控制。以下不是本规范的目标:采购控制。
其他相关标准:
SEMI M12-晶片正面的连续字母数字标记 规范SEMI M13-硅晶片的字母数字标记规范 SEMI T8-带有二维矩阵符号的玻璃平板显示基板 的标记规范SEMI T9-标记规范二维数据矩阵符号 SEMI T11的金属引线框架条的制作-硬质表面掩模版基板的标记规范
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